本實(shí)用新型涉及FFU安裝技術(shù)領(lǐng)域，更具體的說(shuō)是涉及一種彈壓嵌合式FFU 系統(tǒng)安裝結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體設(shè)備包括外殼，在外殼內(nèi)通常需要進(jìn)行濕法化學(xué)反應(yīng)，濕法化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生的氣體導(dǎo)致外殼內(nèi)部的工藝區(qū)域的氣體環(huán)境變得不純凈，為了讓外殼內(nèi)部維持純凈穩(wěn)定的氣體環(huán)境，通常需要在外殼上安裝FFU系統(tǒng)，利用FFU系統(tǒng)使外殼內(nèi)建立良好的循環(huán)氣場(chǎng)流，F(xiàn)FU系統(tǒng)包括FFU殼體，F(xiàn)FU殼體內(nèi)設(shè)置有電線，外殼上設(shè)置有走線殼體，走線殼體用以收納FFU殼體內(nèi)的電線。

FFU系統(tǒng)使用時(shí)需要將FFU殼體與走線殼體連接，現(xiàn)有技術(shù)中FFU殼體與走線殼體之間通過(guò)螺栓進(jìn)行安裝，安裝方式較為繁瑣且安裝不穩(wěn)定。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種彈壓嵌合式FFU 系統(tǒng)安裝結(jié)構(gòu)，用于穩(wěn)定安裝FFU殼體和走線殼體。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案：一種彈壓嵌合式FFU系統(tǒng)安裝結(jié)構(gòu)，包括走線殼體，所述走線殼體位于外殼頂面，F(xiàn)FU殼體與所述走線殼體之間設(shè)置有嵌合組件，所述嵌合組件包括連接件，所述連接件與所述走線殼體之間設(shè)置有嵌合部，所述連接件通過(guò)所述嵌合部與所述走線殼體固定連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述連接件為圓柱形管。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述走線殼體靠近FFU殼體的側(cè)面開設(shè)有連接孔，所述嵌合部包括彈壓鍵，所述彈壓鍵與所述連接件靠近所述走線殼體的一端固定連接，所述彈壓鍵與所述連接孔相適配。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，外殼頂面上設(shè)置有定位組件，所述定位組件用以定位FFU殼體。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述定位組件包括兩組定位部，兩組所述定位部正對(duì)設(shè)置，所述定位部包括第一定位板和兩個(gè)第二定位板，所述第一定位板和所述第二定位板均與外殼頂面固定連接，兩個(gè)所述第二定位板通過(guò)所述第一定位板一體形成，同一組定位部?jī)?nèi)的兩個(gè)所述第二定位板相互平行，且所述第一定位板與兩個(gè)所述第二定位板均相互垂直，通過(guò)兩組定位部對(duì)FFU殼體進(jìn)行定位。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述第一定位板的寬度和高度分別與所述第二定位板的寬度和高度相同，所述第二定位板的長(zhǎng)度小于所述第一定位板長(zhǎng)度的八分之一，且大于所述第一定位板長(zhǎng)度的十分之一。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述第一定位板的高度大于FFU殼體高度的五分之一，且小于FFU殼體高度的四分之一，使得FFU殼體可以被定位。

本實(shí)用新型的有益效果：本實(shí)用新型通過(guò)在FFU殼體和走線殼體之間設(shè)置嵌合部，通過(guò)在連接件和走線殼體之間設(shè)置嵌合部，通過(guò)嵌合部將連接件和走線殼體固定連接，使得FFU殼體與走線殼體之間可以穩(wěn)定安裝，且安裝方式較便捷，通過(guò)設(shè)置兩組定位部以定位FFU殼體。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的主視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型圖1中A處的放大結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：1、走線殼體；2、嵌合組件；21、連接件；3、嵌合部；31、彈壓鍵；4、連接孔；5、定位組件；51、定位部；511、第一定位板；512、第二定位板。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。其中相同的零部件用相同的附圖標(biāo)記表示。需要說(shuō)明的是，下面描述中使用的詞語(yǔ)“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附圖中的方向，詞語(yǔ)“底面”和“頂面”、“內(nèi)”和“外”分別指的是朝向或遠(yuǎn)離特定部件幾何中心的方向。

參照?qǐng)D1至圖3所示，本實(shí)施例的一種彈壓嵌合式FFU系統(tǒng)安裝結(jié)構(gòu)，包括走線殼體1，走線殼體1位于外殼頂面，通過(guò)設(shè)置走線殼體1使得FFU裝置的電路走線可隱蔽安裝，走線殼體1設(shè)置在外殼上方，因此不會(huì)影響外殼內(nèi)氣流場(chǎng)的建立。 FFU殼體與走線殼體1之間設(shè)置有嵌合組件2，嵌合組件2包括連接件21，連接件 21為圓柱形管，F(xiàn)FU殼體的電線可以通過(guò)連接件21和連接孔4進(jìn)入走線槽內(nèi)，使得電線可以被整潔收納，連接件21與走線殼體1之間設(shè)置有嵌合部3，連接件21 通過(guò)嵌合部3與走線殼體1固定連接。操作人員將彈壓鍵31彈壓嵌入連接孔4內(nèi)，使得FFU殼體與走線殼體1固定連接，實(shí)現(xiàn)無(wú)螺栓安裝，且可再次彈壓進(jìn)行拆卸。走線殼體1靠近FFU殼體的側(cè)面開設(shè)有連接孔4，嵌合部3包括彈壓鍵31，彈壓鍵 31與連接件21靠近走線殼體1的一端固定連接，彈壓鍵31用以與連接孔4彈壓嵌合。

參照?qǐng)D3所示，外殼頂面上設(shè)置有定位組件5，定位組件5用以定位FFU殼體。在半導(dǎo)體濕法設(shè)備中，幾乎每個(gè)模組都需要進(jìn)行FFU系統(tǒng)的安裝，通過(guò)設(shè)置兩組定位部51使得FFU裝置能有效安裝，且具有良好的氣密性，定位組件5包括兩組定位部51，兩組定位部51正對(duì)設(shè)置，定位部51包括第一定位板511和兩個(gè)第二定位板512，通過(guò)設(shè)置兩組定位部51，使得外殼上不需要額外設(shè)置其余安裝座，通過(guò)兩組定位部51之間的空間就可以快速便捷的將FFU殼體安裝在外殼上，同時(shí)利用FFU殼體的重量與吹送風(fēng)壓維持外殼內(nèi)部的氣密性。第一定位板511和第二定位板512均與外殼頂面固定連接，兩個(gè)第二定位板512通過(guò)第一定位板511一體形成，同一組定位部51內(nèi)的兩個(gè)第二定位板512相互平行，且第一定位板511與兩個(gè)第二定位板512均相互垂直。兩組定位部51圍成一個(gè)矩形以放置FFU殼體，第一定位板511的寬度和高度分別與第二定位板512的寬度和高度相同，第一定位板511和第二定位板512具有一定的高度，使得FFU殼體不會(huì)脫離出兩組定位部51 之間的空間，第二定位板512的長(zhǎng)度小于第一定位板511長(zhǎng)度的八分之一，且大于第一定位板511長(zhǎng)度的十分之一，兩組定位部51內(nèi)相鄰的兩個(gè)第二定位板512 之間有一定的空隙，使得FFU殼體便于放入兩組定位部51之間的空間。第一定位板511的高度大于FFU殼體高度的五分之一，且小于FFU殼體高度的四分之一。

工作原理：操作人員將彈壓鍵31彈壓嵌入連接孔4內(nèi)，使得FFU殼體與走線殼體1固定連接，實(shí)現(xiàn)無(wú)螺栓安裝，且可再次彈壓進(jìn)行拆卸，F(xiàn)FU殼體與走線殼體1穩(wěn)定安裝，且安裝方式便捷，通過(guò)設(shè)置兩組定位部51，使得外殼上不需要額外設(shè)置其余安裝座，通過(guò)兩組定位部51之間的空間就可以快速便捷的將FFU殼體安裝在外殼上，同時(shí)利用FFU殼體的重量與吹送風(fēng)壓維持外殼內(nèi)部的氣密性。

以上僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不僅局限于上述實(shí)施例，凡屬于本實(shí)用新型思路下的技術(shù)方案均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理前提下的若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。