一種具有良好導流功能的FFU系統安裝結構

技術領域

本實用新型涉及FFU安裝技術領域，更具體的說是涉及一種具有良好導流功能的FFU系統安裝結構。

背景技術

半導體設備包括外殼，在外殼內通常需要進行濕法化學反應，濕法化學反應產生的氣體導致外殼內部的工藝區域的氣體環境變得不純凈，為了讓外殼內部維持純凈穩定的氣體環境，通常需要在外殼上安裝FFU系統，利用FFU系統為外殼內提供良好的氣氛，FFU系統包括FFU殼體；

外殼內包括氣流空間、機器手臂區域和工藝槽體區域，氣流空間位于機械手臂區域和工藝槽體區域上方，FFU系統向外殼內部提供氣流后，氣流先進入氣流空間，然后進入機器手臂區域和工藝槽體區域，工藝槽體區域中會進行化學反應，化學反應會產生酸氣，酸氣會對FFU系統內的設備造成腐蝕，因此需要通過FFU系統向外殼內注入氣流以排除酸氣，酸氣一般會往上揮發，工藝槽體一側設置有抽氣區域，可以將部分酸氣抽至外殼外部進行排放處理，但仍有少部分酸氣會繼續往上揮發，從而進入到機器手臂區域，腐蝕機器手臂區域內的器械，使得器械的使用壽命降低。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種具有良好導流功能的FFU系統安裝結構，避免化學反應后的酸氣進入機器手臂區域，對器械造成腐蝕。

為實現上述目的，本實用新型提供了如下技術方案：一種具有良好導流功能的FFU系統安裝結構，包括氣流空間，所述氣流空間位于外殼頂部，所述氣流空間內設置有分隔部和導流部，所述分隔部包括分隔板，所述分隔板將所述氣流空間分隔成第一空間和第二空間，機器手臂區域位于所述第一空間下方，工藝槽體區域位于所述第二空間下方，所述導流部包括第一導流板和第二導流板，所述第一導流板位于所述第一空間內，所述第二導流板位于所述第二空間內，所述第一導流板和所述第二導流板均傾斜設置，所述第一導流板和所述第二導流板的一端均與所述外殼頂壁固定連接，所述第一導流板和所述第二導流板靠近所述外殼頂面的一端之間的距離大于所述第一導流板和所述第二導流板遠離所述外殼頂面的一端之間的距離，工藝槽體區域內進行化學反應之后，酸氣向上揮發至所述第二空間，通過所述分隔板使得酸氣難以進入所述第一空間，使得機器手臂區域的器械不受腐蝕，FFU系統中的氣流從上往下流經所述第二導流板之后，氣流的流速變快，從而帶動酸氣遠離所述第二空間。

作為本實用新型的進一步改進，外殼上設置有氣氛部，氣氛部包括第一氣氛導流孔和第二氣氛導流孔，所述第一氣氛導流孔和所述第二氣氛導流孔均開設于外殼頂面，所述第一氣氛導流孔與所述第一空間相互貫通，所述第二氣氛導流孔與所述第二空間相互貫通，FFU系統向所述第一氣氛導流孔和所述第二氣氛導流孔內通氣，使得氣體進入外殼內部。

作為本實用新型的進一步改進，所述第一氣氛導流孔和所述第二氣氛導流孔之間形成有連接部，所述連接部包括第一連接板和第二連接板，所述第一連接板與所述第二連接板一體形成，所述第一連接板與所述外殼頂面平行，所述第一連接板與所述第二連接板相互垂直，所述分隔板和所述第一連接板均位于所述第二連接板同一側面，且所述分隔板位于所述第一連接板下方，所述分隔板與所述第一連接板的夾角角度為87度，通過所述分隔板將所述第一空間和所述第二空間分離，防止酸氣進入所述第一空間。

作為本實用新型的進一步改進，所述分隔板頂部開設有若干個第一固定孔，所述第二連接板底部開設有若干個第二固定孔，所述第一固定孔和所述第二固定孔一一對應,使得所述分隔板與所述第二連接板可以相互固定。

作為本實用新型的進一步改進，所述第一導流板和所述第二導流板與所述外殼頂面之間的夾角角度均為45度。

本實用新型的有益效果：本實用新型通過在氣流空間內設置分隔部和導流部，通過分隔板將氣流空間分成第一空間和第二空間，機器手臂區域位于第一空間下方，工藝槽體區域位于第二空間下方，工藝槽體區域內進行化學反應之后，酸氣向上揮發至第二空間，通過分隔板使得酸氣難以進入第一空間，使得機器手臂區域的器械不受腐蝕，將第一導流板設置于第一空間內，將第二導流板設置于第二空間內，且第一導流板和第二導流板均傾斜設置，FFU系統中的氣流從上往下流經第二導流板之后，氣流的流速變快，從而帶動酸氣遠離第二空間。

附圖說明

圖1是本實用新型的主視結構示意圖；

圖2是本實用新型圖1中A處的放大結構示意圖。

附圖標記：1、氣流空間；11、第一空間；12、第二空間；2、分隔部；21、分隔板；3、導流部；31、第一導流板；32、第二導流板；4、氣氛部；41、第一氣氛導流孔；42、第二氣氛導流孔；5、連接部；51、第一連接板；52、第二連接板。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本實用新型進一步詳細說明。其中相同的零部件用相同的附圖標記表示。需要說明的是，下面描述中使用的詞語“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附圖中的方向，詞語“底面”和“頂面”、“內”和“外”分別指的是朝向或遠離特定部件幾何中心的方向。

參照圖1、圖2所示，本實施例的一種具有良好導流功能的FFU系統安裝結構，包括氣流空間1，氣流空間1位于機械手臂區域和工藝槽體區域上方，工藝槽體區域中會進行化學反應，化學反應會產生酸氣，酸氣一般會往上揮發，工藝槽體一側設置有抽氣區域，可以將部分酸氣抽至外殼外部進行排放處理，但仍有少部分酸氣會繼續往上揮發，進入第二空間12，然后通過第一空間11和第二空間12之間的間隙，進入第一空間11，最后進入機器手臂區域對器械進行腐蝕，使得器械的耐久度降低。外殼上設置有氣氛部4，由于酸氣會對設備造成腐蝕，因此需要對酸氣進行處理，通過在外殼上設置FFU系統，FFU系統通過氣氛部4向外殼內注入氣流，同時在抽氣區域的作用下對酸氣進行排除，氣氛部4包括第一氣氛導流孔41和第二氣氛導流孔42，通過設置兩個導流孔，使得FFU系統向殼體內注入的氣流可以被分成兩股氣流，一股氣流通過第一導流板31進入第一空間11，另一股氣流通過第二導流板32進入第二空間12，且兩股氣流在分隔板21的隔離作用下減少了相互擴散的氣體，當酸氣揮發向上彌漫至第二空間12時，FFU系統向第二空間12內注入的氣流可以將酸氣一起帶回至工藝槽體區域上方，然后在抽氣區域的作用下，將酸氣帶至外殼外部，使得酸氣無法進入機器手臂區域腐蝕器械。第一氣氛導流孔41和第二氣氛導流孔42均開設于外殼頂面，第一氣氛導流孔41與第一空間11相互貫通，第二氣氛導流孔42與第二空間12相互貫通。FFU系統位于外殼上方，FFU系統通過第一氣氛導流孔41和第二氣氛導流孔42與外殼內部相互貫通，FFU系統通過第一氣氛導流孔41向第一空間11內通氣，通過第二氣氛導流孔42向第二空間12內通氣，以使酸氣無法在第一空間11和第二空間12停留，以保護器械不受損傷，氣流空間1位于外殼頂部，氣流空間1內設置有分隔部2和導流部3，通過設置分隔部2，使得第一空間11和第二空間12內的氣體難以相互流通，阻擋了酸氣通過第一空間11進入第二空間12，通過設置導流部3，可以FFU系統向第一空間11和第二空間12內注入的氣流的流速，使得第一空間11和第二空間12內的酸氣在流速較快的氣體的作用下，流回工藝槽體區域上方，進而通過抽氣區域進行抽離，防止污染器械，分隔部2包括分隔板21，分隔板21將氣流空間1分隔成第一空間11和第二空間12，機器手臂區域位于第一空間11下方，工藝槽體區域位于第二空間12下方，第一空間11內的氣流通過第一空間11后向機器手臂區域流通，第二空間12內的氣流通過第二空間12后向工藝槽體區域流通，工藝槽體區域內進行化學反應之后，酸氣向上揮發至第二空間12，通過分隔板21使得酸氣難以進入第一空間11，使得機器手臂區域的器械不受腐蝕，導流部3包括第一導流板31和第二導流板32，第一導流板31位于第一空間11內，第一導流板31傾斜設置，第一導流板31與第二連接板52之間的距離沿外殼頂部至外殼底部越來越小，當FFU系統的氣體從上往下經過第一導流板31時，氣流流通的空間越來越小，因此氣流的流速會變快，第一空間11與第二空間12的間隙靠近第一空間11處的氣體流速快，第一空間11與第二空間12之間的間隙處的酸氣的流速緩慢，因此酸氣無法通過第一空間11與第二空間12之間的間隙進入第一空間11，無法腐蝕機器手臂區域內的器械，第二導流板32位于第二空間12內，由于第二導流板32傾斜設置，第二導流板32與第二連接板52之間的距離沿外殼頂部至外殼底部越來越小，當FFU系統的氣體從上往下經過第二導流板32時，氣流流通的空間越來越小，因此氣流的流速會變快，第二空間12內的酸氣的流速較為緩慢，從而將第二空間12內的酸氣一起帶離第二空間12，并進行抽除，使得酸氣無法與機器手臂區域內的器械接觸，第一導流板31和第二導流板32均傾斜設置，第一導流板31和第二導流板32的一端均與外殼頂壁固定連接，第一導流板31和第二導流板32靠近外殼頂面的一端之間的距離大于第一導流板31和第二導流板32遠離外殼頂面的一端之間的距離。第一導流板31和第二導流板32與外殼頂面之間的夾角角度均為45度，將夾角角度設為45度，可以使得氣流獲得較大的流速，足以將酸氣帶回工藝槽體區域上方，進行抽氣處理，第一氣氛導流孔41和第二氣氛導流孔42之間形成有連接部5，連接部5包括第一連接板51和第二連接板52，第一連接板51用以固定第二連接板52，第二連接板52用以固定分隔板21，第一連接板51與第二連接板52一體形成，第一連接板51與外殼頂面平行，第一連接板51與第二連接板52相互垂直，分隔板21和第一連接板51均位于第二連接板52同一側面，且分隔板21位于第一連接板51下方，使得分隔板21可以向下延伸，將氣流空間1分為第一空間11和第二空間12，以使氣流分流對酸氣進行處理，分隔板21與第一連接板51的夾角角度為87度，第一連接板51與靠近第一空間11的外殼內壁之間的距離沿外殼頂部至外殼底部減小，當第一空間11內的氣流從上往下經過分隔板21時，氣流的流速進一步加快，第一空間11與第二空間12之間的間隙處的酸氣的流速緩慢，因此酸氣無法通過第一空間11與第二空間12之間的間隙進入第一空間11，無法腐蝕機器手臂區域內的器械，分隔板21頂部開設有若干個第一固定孔，第二連接板52底部開設有若干個第二固定孔，第一固定孔和第二固定孔一一對應，當需要將分隔板21固定在第二連接板52上時，操作人員使用螺栓依次穿過相對應的第一固定孔和第二固定孔，使得分隔板21與第二連接板52固定連接。

工作原理：氣流空間1位于機械手臂區域和工藝槽體區域上方，工藝槽體區域中會進行化學反應，化學反應會產生酸氣，酸氣會對設備造成腐蝕，因此需要通過FFU系統向外殼內注入氣流以排除酸氣，酸氣一般會往上揮發，工藝槽體一側設置有抽氣區域，可以將部分酸氣抽至外殼外部進行排放處理，但仍有少部分酸氣會繼續往上揮發進入第二空間12，通過第二空間12進入第一空間11，從而進入到機器手臂區域，腐蝕機器手臂區域內的器械，FFU系統位于外殼上方，FFU系統通過第一氣氛導流孔41和第二氣氛導流孔42與外殼內部相互貫通，FFU系統通過第一氣氛導流孔41向第一空間11內通氣，通過第二氣氛導流孔42向第二空間12內通氣，第一空間11內的氣流通過第一空間11后向機器手臂區域流通，第二空間12內的氣流通過第二空間12后向工藝槽體區域流通，工藝槽體區域內進行化學反應之后，酸氣向上揮發至第二空間12，通過分隔板21使得酸氣難以進入第一空間11，使得機器手臂區域的器械不受腐蝕，第一導流板31傾斜設置，氣流從上往下流經第一導流板31后，氣流的速度變快，從而防止第二空間12中的酸氣進入第一空間11，腐蝕機器手臂區域內的器械，第二導流板32傾斜設置，氣流從上往下流經第二導流板32后，氣流的速度變快，從而將第二空間12內的酸氣一起帶離第二空間12，使得酸氣無法與機器手臂區域內的器械接觸。

以上僅是本實用新型的優選實施方式，本實用新型的保護范圍并不僅局限于上述實施例，凡屬于本實用新型思路下的技術方案均屬于本實用新型的保護范圍。應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理前提下的若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。