一種適用于濕法設備的FFU系統聯動循環結構
技術領域

本實用新型涉及濕法設備技術領域，更具體的說是涉及一種適用于濕法設備的FFU系統聯動循環結構。

背景技術

濕法設備包括外殼，外殼內包括氣流空間、機器手臂區域、工藝槽體區域和抽氣區域，工藝槽體區域位于機器手臂區域和抽氣區域之間，抽氣區域外側設置有抽氣設備，氣流空間位于機械手臂區域和工藝槽體區域上方，機器手臂區域和工藝槽體區域之間設置有第一隔板，工藝槽體區域內設置有第二隔板，工藝槽體區域和排氣區域之間設置有第三隔板，外殼頂面上設置有FFU系統，FFU系統包括FFU殼體；

工藝槽體區域中會進行濕法化學反應，化學反應會產生酸氣，一部分酸氣會向上揮發至氣流空間，酸氣會對濕法設備內的機器造成腐蝕，從而影響機器的使用壽命，因此需要對酸氣進行處理，通常使用抽氣設備將酸氣抽出至設備外部，抽氣設備工作時，工藝槽體區域內的壓力和溫度會發生變化，使得濕法化學反應過程中產生的液體形成凝結液，酸氣抽出的同時通過FFU系統向外殼內部注入新鮮的氣流；

第三隔板上通常設置有開口，抽氣區域內通常設置有管道，抽氣設備工作時，工藝槽體區域中的酸氣從開口進入管道，然后通過管道排出至外殼外部，當管道內的酸氣過多使得酸氣無法及時排出時，會導致酸氣回流至開口處，然后回流至工藝槽體區域，酸氣在外殼內部來回流動，造成氣體的不良循環，且會對外殼內的機器造成腐蝕。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種適用于濕法設備的FFU系統聯動循環結構，用于防止酸氣回流。

為實現上述目的，本實用新型提供了如下技術方案：一種適用于濕法設備的FFU系統聯動循環結構，包括外殼，所述外殼內設置有分隔組件，所述分隔組件用以將氣流空間分隔成第一空間和第二空間，第三隔板上設置有兩個通氣組件，所述通氣組件用以將工藝槽體區域和排氣區域相互連通，第三隔板遠離工藝槽體區域的一側設置有容納組件，所述容納組件用以防止酸氣回流，所述容納組件包括容納盒，所述容納盒內開設有容納槽，第二隔板上設置有阻擋組件，所述阻擋組件包括擋板，所述擋板用以防止凝結液進入所述通氣組件，排氣區域內設置有排氣管，所述排氣管內設置有調節組件，所述調節組件用以調節所述排氣管開口的大小，當抽氣設備工作時，酸氣依次通過所述通氣組件、所述容納組件和所述排氣管；

所述氣流空間上設置有導流組件，所述導流組件包括第一導流板和第二導流板，所述第一導流板和所述第二導流板的一端均與外殼頂壁固定連接，所述第一導流板和所述第二導流板均傾斜設置，且所述第一導流板和所述第二導流板靠近外殼頂面的一端之間的距離大于所述第一導流板和所述第二導流板遠離所述外殼頂面的一端之間的距離，所述外殼上設置有隱蔽組件，所述隱蔽組件包括走線殼體，所述走線殼體上開設有走線槽，所述走線槽用以收納FFU殼體的電線，所述走線殼體側面開設有第一通孔，所述第一通孔與所述走線槽相互貫通，FFU殼體與所述走線殼體之間設置有嵌合組件，所述嵌合組件包括連接件，所述連接件與所述走線殼體之間設置有嵌合部，所述嵌合部包括彈壓鍵，所述彈壓鍵與所述第一通孔相適配，以使所述彈壓鍵的一部分位于所述走線槽內，電線穿過所述連接件和所述彈壓鍵進入所述走線槽內，所述外殼上設置有定位組件，所述定位組件包括兩個第一定位部，兩個所述第一定位部之間形成有容納空間，所述容納空間用以容納FFU殼體，所述第一定位部包括第一定位板和兩個第二定位板，兩個所述第二定位板通過所述第一定位板一體形成，其中一個所述第一定位板位于FFU殼體與所述走線殼體之間，且開設有第二通孔。

作為本實用新型的進一步改進，所述分隔組件包括第一分隔板和第二分隔板，所述第一分隔板與第一隔板頂面可拆卸連接，所述第二分隔板與所述外殼頂壁可拆卸連接，所述第二分隔板位于所述第一分隔板上方，所述第一分隔板和所述第二分隔板之間留有間隙。

作為本實用新型的進一步改進，第二隔板上開設有兩個連通孔，所述通氣組件包括連接板，所述連接板與所述連通孔相適配且一一對應，所述連接板上設置有若干組通氣部，所述通氣部包括若干個并列設置的通氣孔，所述連通孔上均設置有過濾網，所述通氣孔用以酸氣流通。

作為本實用新型的進一步改進，所述擋板上設置有若干阻擋件，所述阻擋件用以防止凝結液下落。

作為本實用新型的進一步改進，所述調節組件包括調節板和調節桿，所述調節桿與所述排氣管內壁轉動連接，所述調節桿與所述調節板可拆卸連接，所述調節板上設置有氣壓傳感器，所述氣壓傳感器用以檢測排氣管內的氣壓，以便于根據氣壓對排氣管的開口大小進行調節。

作為本實用新型的進一步改進，所述排氣管的內徑沿靠近所述連通孔至遠離所述連通孔逐漸減小，所述排氣管內壁上設置有保護層，使得酸氣的流速加快。

作為本實用新型的進一步改進，兩個所述連通孔均與所述容納槽相互貫通，所述容納盒的長度與第三隔板的長度相同，所述容納盒的高度大于所述連接板的高度，所述容納盒的寬度小于所述排氣管長度的四分之一，且大于所述排氣管長度的五分之一，所述容納盒用以防止酸氣回流。

作為本實用新型的進一步改進，外殼上設置有氣氛部，氣氛部包括第一氣氛導流孔和第二氣氛導流孔，所述第一氣氛導流孔和所述第二氣氛導流孔均開設于外殼頂面，所述第一氣氛導流孔與所述第一空間相互貫通，所述第二氣氛導流孔與所述第二空間相互貫通，所述第一氣氛導流孔和所述第二氣氛導流孔之間形成有連接段，所述第二分隔板與所述連接段可拆卸連接，所述第一導流板位于所述第一空間內，所述第二導流板位于所述第二空間內，FFU系統通過所述第一氣氛導流孔和所述第二氣氛導流孔向所述外殼內部注入氣流，使得氣流可以進入第一空間和第二空間。

作為本實用新型的進一步改進，兩個所述第一定位部之間設置有兩個第二定位部，所述第一定位部與所述第二定位部一一對應，所述第二定位部包括第三定位板，所述第三定位板與相對應的所述第一定位板相互平行，且所述第三定位板與相對應的所述第一定位板之間設置有若干彈性件，通過彈性件使得FFU殼體在外殼上方保持穩定。

作為本實用新型的進一步改進，所述外殼底部設置有若干萬向輪，所述萬向輪便于外殼移動至其他位置。

本實用新型的有益效果：本實用新型通過在外殼內設置分隔組件，使得氣流空間分隔成第一空間和第二空間，通過在第三隔板上設置兩個通氣組件，使得工藝槽體區域和排氣區域相互連通，通過在第三隔板上設置容納組件，以防止酸氣回流，通過在第二隔板上設置阻擋組件，以防止凝結液進入通氣組件，通過在排氣管內設置調節組件，以調節排氣管開口的大小，通過在氣流空間上設置導流組件，以加快氣流空間內氣體的流速，通過在外殼上設置隱蔽組件，以收納FFU殼體的電線，通過在FFU殼體和走線殼體之間設置嵌合組件，使得FFU殼體與走線殼體相互貫通，通過在外殼上設置定位組件，以定位FFU殼體。

附圖說明

圖1是本實用新型的立體結構示意圖；

圖2是本實用新型圖1中A處的放大結構示意圖；

圖3是本實用新型的主視結構示意圖；

圖4是本實用新型圖3中B處的放大結構示意圖；

圖5是本實用新型的俯視結構示意圖。

附圖標記：1、分隔組件；11、第一分隔板；12、第二分隔板；2、通氣組件；21、連接板；22、通氣部；3、容納組件；31、容納盒；4、阻擋組件；41、擋板；5、調節組件；51、調節板；52、調節桿；6、導流組件；61、第一導流板；62、第二導流板；7、隱蔽組件；71、走線殼體；8、嵌合組件；81、連接件；82、嵌合部；83、彈壓鍵；9、定位組件；91、第一定位板；92、第二定位板；10、排氣管；13、氣氛部；131、第一氣氛導流孔；132、第二氣氛導流孔；133、連接段；14、萬向輪。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本實用新型進一步詳細說明。其中相同的零部件用相同的附圖標記表示。需要說明的是，下面描述中使用的詞語“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附圖中的方向，詞語“底面”和“頂面”、“內”和“外”分別指的是朝向或遠離特定部件幾何中心的方向。

參照圖1至圖5所示，本實施例的一種適用于濕法設備的FFU系統聯動循環結構，包括外殼，外殼內設置有分隔組件1，分隔組件1用以將氣流空間分隔成第一空間和第二空間，氣流空間位于機械手臂區域和工藝槽體區域上方，第一空間位于機器手臂區域上方，第二空間位于工藝槽體區域上方，工藝槽體區域中會進行化學反應，化學反應會產生酸氣，酸氣一般會往上揮發，工藝槽體一側設置有抽氣區域，可以將部分酸氣抽至外殼外部進行排放處理，但仍有少部分酸氣會繼續往上揮發，進入第二空間，分隔組件1包括第一分隔板11和第二分隔板12，通過第一分隔板11和第二分隔板12將機器手臂區域和工藝槽體區域相互貫通的空間減小，使得從第二空間流通至第一空間的酸氣減少，防止酸氣對機器手臂區域的器械造成腐蝕，第一分隔板11與第一隔板頂面可拆卸連接，第二分隔板12與外殼頂壁可拆卸連接，第一分隔板11和第二分隔板12通過螺栓分別與第一隔板和外殼可拆卸連接，當第一分隔板11和第二分隔板12受到酸氣腐蝕而損壞時，便于快速進行替換，第二分隔板12位于第一分隔板11上方，第一分隔板11和第二分隔板12之間留有間隙，使得第一空間和第二空間相互貫通，便于形成良好的循環。

第三隔板上設置有兩個通氣組件2，通氣組件2用以將工藝槽體區域和排氣區域相互連通，使得酸氣可以從工藝槽體區域流至排氣區域，從而對酸氣進行排出，并通過調節組件5控制酸氣排出的量，以維持氣體環境的穩定，第二隔板上開設有兩個連通孔，通常直接在第二隔板上開設一個較大范圍的開口，抽氣設備直接通過開口對酸氣進行抽取，酸氣抽出的效率不高，設置兩個連通孔，使得酸氣抽出的效率相比開設一個開口高，通氣組件2包括連接板21，連接板21與連通孔相適配且一一對應，連接板21可以將連通孔覆蓋，使得酸氣通過通氣孔向排氣區域流通，從而對酸氣進行排出，并通過調節組件5控制酸氣排出的量，以維持氣體環境的穩定，連接板21上設置有若干組通氣部22，通氣部22包括若干個并列設置的通氣孔，通氣孔的橫截面積較小，工藝槽體區域的空間較大，當抽氣設備工作時，酸氣從工藝槽體區域流向通氣孔，使得靠近通氣孔的酸氣的流速大于遠離通氣孔的酸氣的流速，酸氣流速加快，使得酸氣抽出的效率提高，防止了酸氣腐蝕機器，連通孔上均設置有過濾網，防止其他雜物被吸入排氣管10，將排氣管10堵塞。

第三隔板遠離工藝槽體區域的一側設置有容納組件3，容納組件3用以防止酸氣回流，當排氣管10內的酸氣過多使得酸氣無法及時排出時，會導致酸氣回流至通氣孔，然后回流至工藝槽體區域，酸氣在外殼內部來回流動，造成氣體的不良循環，且會對外殼內的機器造成腐蝕，因此需要在連接板21和排氣管10之間設置容納組件3，通過通納組件防止酸氣回流，容納組件3包括容納盒31，容納盒31內開設有容納槽，兩個連通孔均與容納槽相互貫通，容納盒31的長度與第三隔板的長度相同，容納盒31的高度大于連接板21的高度，容納盒31的寬度小于排氣管10長度的四分之一，且大于排氣管10長度的五分之一，當抽氣設備工作時，酸氣從工藝槽體區域通過通氣組件2，然后進入容納槽內，容納盒31內的空間較大，防止酸氣流速過快時，容納盒31被酸氣充滿，酸氣回流至工藝槽體區域，對機器造成腐蝕。

第二隔板上設置有阻擋組件4，抽氣設備工作時，工藝槽體區域內的壓力和溫度會發生變化，使得濕法化學反應過程中產生的液體形成凝結液，阻擋組件4用以防止凝結液進入通氣組件2，阻擋組件4包括擋板41，擋板41用以防止凝結液進入通氣組件2，當抽氣設備工作時，凝結液在抽氣設備的帶動下向通氣組件2流動，在到達通氣組件2所在處之前，先到達擋板41處，因此會附著在擋板41上，避免了凝結液到達通氣組件2所在處并附著在通氣組件2上，不影響酸氣的正常流通。擋板41上設置有若干阻擋件(圖中未示出)，阻擋件用以防止凝結液下落，阻擋件為四個阻擋板41，阻擋板41并列固定在擋板41上，凝結液附著在擋板41上時，可能會向下滑落，通過擋板41將滑落的凝結液收集在擋板41上，防止凝結液向下滴落污染機器。

排氣區域內設置有排氣管10，排氣管10的一端與容納槽相互貫通，排氣管10的另一端與抽氣設備連通，當抽氣設備工作時，酸氣從工藝槽體區域通過通氣組件2，進入容納槽內，然后通過排氣管10被排出至外殼外部，有效的排出酸氣，使得酸氣無法對機器造成腐蝕，當抽氣設備工作時，酸氣依次通過通氣組件2、容納組件3和排氣管10，排氣管10內設置有調節組件5，調節組件5用以調節排氣管10開口的大小，當外殼內氣體過多時，通過調節組件5將排氣管10的開口調大，使得抽氣設備向外殼外部抽出的氣體增多，當外殼內氣體不多時，通過調節組件5將排氣管10的開口調小，使得抽氣設備向外殼外部抽出的氣體減少，從而維持外殼內部氣體環境的相對穩定，調節組件5包括調節板51和調節桿52，當外殼內的氣體過多時，通過調節桿52在排氣管10內部轉動，帶動調節板51在排氣管10內部轉動，使得調節板51的頂部和底部與排氣管10內壁的間距變大，使得排氣管10的開口增大，抽氣設備向外殼外部抽出的氣體增多，當外殼內的氣體過少時，通過調節桿52在排氣管10內部轉動，帶動調節板51在排氣管10內部轉動，使得調節板51的頂部和底部與排氣管10內壁的間距變小，使得排氣管10的開口增小，抽氣設備向外殼外部抽出的氣體減少，從而維持外殼內部氣體環境的相對穩定，調節桿52與排氣管10內壁轉動連接，調節桿52與調節板51可拆卸連接，調節板51上設置有氣壓傳感器。通過氣壓傳感器對外殼內氣體的多少進行檢測，當氣壓傳感器檢測到外殼內的氣體壓強過大時，表示外殼內部氣體過多，通過調節桿52在排氣管10內部轉動，帶動調節板51在排氣管10內部轉動，使得調節板51的頂部和底部與排氣管10內壁的間距變大，使得排氣管10的開口增大，抽氣設備向外殼外部抽出的氣體增多，當氣壓傳感器檢測到外殼內的氣體壓強過小時，表示外殼內部氣體過少，通過調節桿52在排氣管10內部轉動，帶動調節板51在排氣管10內部轉動，使得調節板51的頂部和底部與排氣管10內壁的間距變小，抽氣設備向外殼外部抽出的氣體減少，使得氣體環境保持相對穩定。排氣管10的內徑沿靠近連通孔至遠離連通孔逐漸減小，酸氣經過排氣管10時，酸氣可以流通的空間逐漸減小，使得酸氣的流速增大，加快了酸氣排出的速度，排氣管10內壁上設置有保護層，所述防護層的材料為三聚乙烯，保護層用以保護排氣管10，防止長時間酸氣經過排氣管10導致排氣管10被腐蝕。

參照圖1至圖5所示，外殼上設置有氣氛部13，外殼頂面設置有FFU系統，FFU系統包括FFU殼體，FFU系統通過第一氣氛導流孔131和第二氣氛導流孔132向外殼內部注入新鮮的氣體，在新鮮氣體的流動作用下將酸氣帶回至工藝槽體區域，通過抽氣設備進行排出，氣氛部13包括第一氣氛導流孔131和第二氣氛導流孔132，第一氣氛導流孔131和第二氣氛導流孔132均開設于外殼頂面，第一氣氛導流孔131與第一空間相互貫通，第二氣氛導流孔132與第二空間相互貫通，FFU系統位于外殼上方，FFU系統通過第一氣氛導流孔131和第二氣氛導流孔132與外殼內部相互貫通，FFU系統通過第一氣氛導流孔131向第一空間內通氣，通過第二氣氛導流孔132向第二空間內通氣，以使酸氣無法在第一空間和第二空間停留，保護器械不受損傷，第一氣氛導流孔131和第二氣氛導流孔132之間形成有連接段133，第二分隔板12與連接段133可拆卸連接，第二分隔板12通過螺栓與連接段133可拆卸連接，當第二分隔板12受到酸氣腐蝕而損壞時，便于快速進行替換。

氣流空間上設置有導流組件6，通過設置導流組件6，可以加快FFU系統向第一空間和第二空間內注入的氣流的流速，使得酸氣在流速較快的氣體的作用下，流回工藝槽體區域上方，進而通過抽氣區域進行抽離，導流組件6包括第一導流板61和第二導流板62，第一導流板61和第二導流板62的一端均與外殼頂壁固定連接，第一導流板61和第二導流板62均傾斜設置，且第一導流板61和第二導流板62靠近外殼頂面的一端之間的距離大于第一導流板61和第二導流板62遠離外殼頂面的一端之間的距離，第一導流板61位于第一空間內，第一導流板61傾斜設置，第一導流板61與第二分隔板12之間的距離沿外殼頂部至外殼底部越來越小，當FFU系統的氣體從上往下經過第一導流板61時，氣流流通的空間越來越小，因此氣流的流速會變快，第一空間處的氣體流速快，而第一分隔板11與第二分隔板12之間的間隙處的酸氣的流速緩慢，因此酸氣無法通過第一分隔板11與第二分隔板12之間的間隙進入第一空間，無法腐蝕機器手臂區域內的器械，第二導流板62位于第二空間內，第二導流板62傾斜設置，第二導流板62與第二分隔板12之間的距離沿外殼頂部至外殼底部越來越小，當FFU系統的氣體從上往下經過第二導流板62時，氣流流通的空間越來越小，因此氣流的流速會變快，第二空間處的氣體流速較快，而第二空間內的酸氣的流速較為緩慢，因此第二空間內的酸氣可以在第二空間的氣體的流動下一起遠離第二空間，然后通過抽氣設備進行抽除。

外殼上設置有隱蔽組件7，隱蔽組件7包括走線殼體71，FFU系統需要布線，電線長時間裸露在空氣中會使得電線上堆積大量的灰塵，從而加快電線老化的速度，增加安全隱患，通過設置走線殼體71使得FFU系統的電線可以被收納在走線槽內，以防止電線老化，走線殼體71上開設有走線槽，走線槽用以收納FFU殼體的電線，防止電線沾灰，走線殼體71側面開設有第一通孔，第一通孔與走線槽相互貫通，第一通孔用以連接彈壓鍵83，彈壓鍵83與第一通孔相互卡合，使得通過彈壓鍵83進入第一通孔的電線不會因為彈壓鍵83與第一通孔相互脫離而遭到損壞。

FFU殼體與走線殼體71之間設置有嵌合組件8，通過設置嵌合組件8，使得FFU殼體與走線殼體71之間的電線可以相互貫通，使得電線可以被收納，嵌合組件8包括連接件81，連接件81與走線殼體71之間設置有嵌合部82，嵌合部82使得連接件81與走線殼體71相互連接，不會脫離，防止通過連接件81進入走線殼體71的電線因為連接件81與走線殼體71相互脫離而遭到損壞，嵌合部82包括彈壓鍵83，彈壓鍵83與第一通孔相適配，以使彈壓鍵83的一部分位于走線槽內，電線穿過連接件81和彈壓鍵83進入走線槽內，當需要將彈壓鍵83和第一通孔連接時，操作人員將彈壓鍵83塞入第一通孔內，以使彈壓鍵83與第一通孔相互卡合，使得彈壓鍵83無法從第一通孔脫離，彈壓鍵83的一部分位于走線槽內，此時電線可以穿過連接件81和彈壓鍵83進入走線槽內。

外殼上設置有定位組件9，通過設置定位組件9使得FFU殼體能有效安裝，使得FFU殼體在外殼上方保持穩定，防止FFU系統的氣流直接通過FFU殼體與外殼頂面之間的間隙向外殼外部流通，保證裝置的氣密性，定位組件9包括兩個第一定位部，兩個第一定位部之間形成有容納空間，容納空間用以容納FFU殼體，第一定位部包括第一定位板91和兩個第二定位板92，兩個第二定位板92通過第一定位板91一體形成，其中一個第一定位板91位于FFU殼體與走線殼體71之間，且開設有第二通孔，連通孔用以穿過連接件81，以使連接件81的一端可以與FFU殼體連接，使得FFU系統的電線可以通過連接件81進入走線殼體71內進行收納，兩個第一定位部之間設置有兩個第二定位部(圖中未示出)，第一定位部與第二定位部一一對應，第二定位部包括第三定位板，第三定位板與相對應的第一定位板91相互平行，且第三定位板與相對應的第一定位板91之間設置有若干彈性件，所述彈性件為彈簧，所述彈簧的數量為四個，當需要固定FFU殼體時，操作人員將FFU殼體塞入兩個第三定位板之間的空間，通過FFU殼體向外擠壓相對設置的兩塊第三定位板，使得第一定位板91和第三定位板之間的壓縮彈簧受力壓縮，FFU殼體進入兩個第三定位板之間的空間，通過壓縮彈簧的回復力使得FFU殼體在兩個第三定位板之間被固定，防止FFU系統的氣流直接通過FFU殼體與外殼頂面之間的間隙向外殼外部流通，保證裝置的氣密性。外殼底部設置有若干萬向輪14，所述萬向輪14的數量為四個，當需要在其他地方進行濕法實驗時，不需要操作人員費力搬動外殼，通過萬向輪14便于將外殼移動至需要進行實驗的地方進行濕法實驗。

工作原理：當需要固定FFU殼體時，操作人員將FFU殼體塞入兩個第三定位板之間的空間，通過FFU殼體向外擠壓相對設置的兩塊第三定位板，使得第一定位板91和第三定位板之間的壓縮彈簧受力壓縮，FFU殼體進入兩個第三定位板之間的空間，通過壓縮彈簧的回復力使得FFU殼體在兩個第三定位板之間被固定，防止FFU系統的氣流直接通過FFU殼體與外殼頂面之間的間隙向外殼外部流通，保證裝置的氣密性。連接件81的一端與FFU殼體連接，連接件81的另一端連接有彈壓鍵83，當需要將彈壓鍵83和走線殼體71連接時，操作人員將彈壓鍵83塞入第一通孔內，以使彈壓鍵83與第一通孔相互卡合，使得彈壓鍵83無法從第一通孔脫離，彈壓鍵83的一部分位于走線槽內，此時FFU系統的電線可以穿過連接件81和彈壓鍵83收納在走線槽內。

FFU系統通過第一氣氛導流孔131向第一空間內通氣，通過第二氣氛導流孔132向第二空間內通氣，第一空間內的氣流通過第一空間后向機器手臂區域流通，第二空間內的氣流通過第二空間后向工藝槽體區域流通，工藝槽體區域內進行化學反應之后，酸氣向上揮發至第二空間，通過第一分隔板11和第二分隔板12使得酸氣難以進入第一空間，使得機器手臂區域的器械不受腐蝕，第一導流板61傾斜設置，氣流從上往下流經第一導流板61后，氣流的速度變快，從而防止第二空間中的酸氣進入第一空間，腐蝕機器手臂區域內的器械，第二導流板62傾斜設置，氣流從上往下流經第二導流板62后，氣流的速度變快，第二空間處的氣體流速較快，而第二空間內的酸氣的流速較為緩慢，因此第二空間內的酸氣可以在第二空間的氣體的帶動下一起遠離第二空間，之后通過抽氣設備進行抽除。

當抽氣設備工作時，工藝槽體區域內的壓力和溫度會發生變化，使得濕法化學反應過程中產生的液體形成凝結液，凝結液在抽氣設備的帶動下向通氣組件2流動，在到達通氣組件2所在處之前，先到達擋板41處，因此會附著在擋板41上，避免了凝結液到達通氣組件2所在處并附著在通氣組件2上，不影響酸氣的正常流通。當氣體經過通氣組件2的通氣孔時，由于通氣孔的橫截面積較小，工藝槽體區域的空間較大，酸氣從工藝槽體區域流向通氣孔，使得靠近通氣孔的酸氣的流速大于遠離通氣孔的酸氣的流速，酸氣流速加快，使得酸氣抽出的效率提高，防止了酸氣腐蝕機器。當氣體經過容納組件3的容納槽時，由于容納盒31內的空間較大，防止了酸氣流速過快時，容納盒31被酸氣充滿，酸氣回流至工藝槽體區域，對機器造成腐蝕，當氣體流經排氣管10時，通過排氣管10內的調節組件5對氣體流出量進行調節，當氣壓傳感器檢測到外殼內的氣體壓強過大時，表示外殼內部氣體過多，通過調節桿52在排氣管10內部轉動，帶動調節板51在排氣管10內部轉動，使得調節板51的頂部和底部與排氣管10內壁的間距變大，使得排氣管10的開口增大，抽氣設備向外殼外部抽出的氣體增多，當氣壓傳感器檢測到外殼內的氣體壓強過小時，表示外殼內部氣體過少，通過調節桿52在排氣管10內部轉動，帶動調節板51在排氣管10內部轉動，使得調節板51的頂部和底部與排氣管10內壁的間距變小，抽氣設備向外殼外部抽出的氣體減少，使得氣體環境保持相對穩定。

以上僅是本實用新型的優選實施方式，本實用新型的保護范圍并不僅局限于上述實施例，凡屬于本實用新型思路下的技術方案均屬于本實用新型的保護范圍。應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理前提下的若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。