軟件系統可自行設定FFU風機轉速快慢來決定風機運轉是否正常。
測量點單純精準。不會因Mini-Environment的體積大小與形狀不同,而須增加測點或是量測誤差值過大而產生誤判。
可與SMIF ARM訊號連結成一套完整Interlock系統,避免發生環境潔凈度問題后,而ARM仍可收 / 下貨與動作。
這種系統價格便宜。與一般風壓或風量偵測儀器比較更仍節省一半以上的成本。
它的應用范圍廣泛,任何需監控風機功能之設備機臺皆可使用。
FFU風機風速的設定與調整
根據美國聯邦標準潔凈室規格,Class 1~100的環境之下,風速標準必須達到0.35~0.55 m/s。故可假設風速低于0.35m/s時,風機即視為異常狀態。此時可利用風機轉速偵測器調整定義轉速異常點,再配合以風速計確認后,便可完成。